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高精度微機電系統硅壓力變送器的結構和工作原理；

由于傳感器的輸出是非標準信號，為了使傳感器通用，便于信號傳輸和記錄，傳感器與標準信號輸入電路配合，輸出符合標準的信號。此時輸出標準信號的傳感器稱為變送器。

簡而言之，發射器是由傳感器逐漸發展而來的。本文研究的擴散硅壓力變送器主要由微機電系統傳感器、測量膠囊以及接口和處理電路(智能電路板)組成。

如圖所示，壓力傳感器和二極管溫度傳感器一起封裝在測量艙的頂部，艙體由兩個密封法蘭夾緊，形成變送器的測量部分，變送器負責將工作現場待測壓力信號轉換成電壓信號。另外，電子電路板、液晶顯示儀表和連接端子構成顯示部分，通過雙線信號處理，將傳感器輸出的電壓信號放大轉換為4-20mA后，負責輸出標準電流信號。

如何壓力變送器工作:

基于單晶硅的壓阻效應，利用先進的微機電加工技術在硅片上制作特定方向的彈性元件，利用集成電路技術制作的四個阻值相等的力敏電阻在適當位置連接成惠斯通電橋。恒定的電壓(電流)被施加到電橋，并且測量的壓力通過密封在測量膠囊中的硅油被無損耗地傳輸到硅片。變送器輸出與測量壓力成線性比例的電壓信號，然后通過電子電路將該電壓信號放大并轉換成雙線標準信號。

根據其工作原理，壓力傳感器是變送器的重要組成部分，變送器的溫度漂移主要來源于硅壓力傳感器的溫度漂移。目前，對硅壓力變送器溫度漂移補償的研究主要集中在硅壓力傳感器上。

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